[發明專利]襯底的拼接裝置

無效

• 申請號: 02806912.9
• 申請日: 2002-03-01
• 公開（公告）號: CN101427313A
• 公開（公告）日: 2009-05-06
• 發明（設計）人: A·胡普;U·斯皮爾;R·瓦格納;F·米徹爾斯
• 申請（專利權）人: 施蒂格哈馬技術股份公司
• 主分類號: G11B7/26
• 分類號: G11B7/26;B29C65/48;B29L17/00
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 蘇 娟;趙 辛

1.把具有一個內孔的襯底拼接成一個襯底圓盤的裝置，具有一個 可膨脹的元件，該元件可引入至少兩個疊置的襯底的內孔中，其特征 為，該元件可這樣產生膨脹，即它可與兩個襯底的內孔接觸，并相對 四周封閉在這兩個襯底之間形成的間隙。

2.按權利要求1的裝置，其特征為，該元件用彈性材料制成。

3.按權利要求1或2的裝置，其特征為，該元件通過壓力作用可 產生膨脹。

4.按前述權利要求任一項的裝置，其特征為，該元件可在兩個相 對運動的部件之間被壓縮。

5.按權利要求4的裝置，其特征為，其中的一個部件為一個襯底 支座，該支座可圍繞一根垂直于支承面的旋轉軸線旋轉。

6.按權利要求4或5的裝置，其特征為，而另一個部件則為一個 定心銷，該定心銷可旋轉地與該支座拼接，并在旋轉軸線的方向內可 相對于該支座運動。

7.按前述權利要求任一項的裝置，其特征為，該元件為一個彈性 環。

8.按權利要求7的裝置，其特征為，兩個部件中的至少一個具有 一段錐形擴展的區段，該區段可引入該環的一個中心孔中，使之產生 膨脹。

9.按權利要求7或8的裝置，其特征為，該定心銷通過該環的一 個中心孔延伸。

10.按前述權利要求任一項的裝置，其特征為，該元件是一個彈性 的可加壓力的腔室。

11.按權利要求10的裝置，其特征為，當該腔室壓力為環境壓力 時，室壁的外圓周小于襯底的內孔的內圓周。

12.按權利要求10的裝置，其特征為，當該腔室壓力為環境壓力 時，室壁的外圓周大于襯底的內孔的內圓周。

13.按前述權利要求任一項的裝置，其特征為，該元件抗扭地拼接 到一個可旋轉的襯底支座上。