[發明專利]圓柱形磁控管靶及將該靶附接到可旋轉軸組件的設備無效
| 申請號： | 02805127.0 | 申請日： | 2002-02-15 |
| 公開（公告）號： | CN1491295A | 公開（公告）日： | 2004-04-21 |
| 發明（設計）人： | 大衛·馬克·林恩;梅爾文·瑪麗昂·克拉克森 | 申請（專利權）人： | 大衛·馬克·林恩;梅爾文·瑪麗昂·克拉克森 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 中原信達知識產權代理有限責任公司 | 代理人： | 張天舒;顧紅霞 |
| 地址： | 美國*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 圓柱形 磁控管靶 接到 旋轉軸 組件 設備 | ||
【說明書】：
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