[發明專利]用于離子注入機的可調傳動限制縫隙有效
| 申請號： | 02805094.0 | 申請日： | 2002-01-16 |
| 公開（公告）號： | CN1535470A | 公開（公告）日： | 2004-10-06 |
| 發明（設計）人： | 安東尼·麗奧;埃里克·戴維·赫曼森;杰·托馬斯·施尤爾 | 申請（專利權）人： | 瓦里安半導體設備聯合公司 |
| 主分類號： | H01J37/18 | 分類號： | H01J37/18;H01J37/317;H01J37/09 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司 | 代理人： | 過曉東 |
| 地址： | 美國馬*** | 國省代碼： | 美國;US |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 離子 注入 可調 傳動 限制 縫隙 | ||
【權利要求書】：
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于瓦里安半導體設備聯合公司，未經瓦里安半導體設備聯合公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/02805094.0/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：電致發光器件
- 下一篇：與電力輸送有關的改進
