[發明專利]濺射裝置及濺射成膜方法有效
| 申請號： | 02804597.1 | 申請日： | 2002-02-06 |
| 公開（公告）號： | CN1491293A | 公開（公告）日： | 2004-04-21 |
| 發明（設計）人： | 志堂寺榮治;安藤英一;山田朋廣;真下尚洋 | 申請（專利權）人： | 旭硝子株式會社 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34;G02B5/28 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所 | 代理人： | 包于俊 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 濺射 裝置 方法 | ||
【說明書】：
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