[發(fā)明專利]接觸探針及其制造方法和檢查裝置以及檢查方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 02804024.4 | 申請日： | 2002-01-22 |
| 公開（公告）號： | CN1527945A | 公開（公告）日： | 2004-09-08 |
| 發(fā)明（設計）人： | 平田嘉裕;羽賀剛;沼澤稔之;仲前一男;岡田一范;依田潤 | 申請（專利權(quán)）人： | 住友電氣工業(yè)株式會社 |
| 主分類號： | G01R1/067 | 分類號： | G01R1/067;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務所 | 代理人： | 李貴亮;楊梧 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 接觸 探針 及其 制造 方法 檢查 裝置 以及 | ||
【說明書】：
下載完整專利技術(shù)內(nèi)容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于住友電氣工業(yè)株式會社，未經(jīng)住友電氣工業(yè)株式會社許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/02804024.4/2.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
