[發明專利]MIM電容器之形成方法有效
| 申請號： | 02160889.X | 申請日： | 2002-12-31 |
| 公開（公告）號： | CN1466157A | 公開（公告）日： | 2004-01-07 |
| 發明（設計）人： | 鄭貳善 | 申請（專利權）人： | 海力士半導體有限公司 |
| 主分類號： | H01G4/00 | 分類號： | H01G4/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務所 | 代理人： | 楊梧;馬高平 |
| 地址： | 韓國*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | mim 電容器 形成 方法 | ||
【說明書】：
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