[發明專利]表面檢查裝置無效
| 申請號： | 02154380.1 | 申請日： | 2002-12-04 |
| 公開（公告）號： | CN1424576A | 公開（公告）日： | 2003-06-18 |
| 發明（設計）人： | 磯崎久;榎本芳幸 | 申請（專利權）人： | 株式會社拓普康 |
| 主分類號： | G01N21/88 | 分類號： | G01N21/88;G01N21/47;G01N21/21 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 劉宗杰,張志醒 |
| 地址： | 暫無信息 | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 表面 檢查 裝置 | ||
【權利要求書】：
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