[發明專利]等離子體處理裝置有效
| 申請號： | 02151465.8 | 申請日： | 2002-11-14 |
| 公開（公告）號： | CN1501762A | 公開（公告）日： | 2004-06-02 |
| 發明（設計）人： | 李孝忠;黃慶德;戴嘉宏;陳虹瑞;賴宏裕 | 申請（專利權）人： | 友達光電股份有限公司 |
| 主分類號： | H05H1/46 | 分類號： | H05H1/46;H01J37/36;C23F1/00;H01L21/203;H01L21/3065;H01L21/363;H01L21/465;G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務所 | 代理人： | 何秀明;李曉舒 |
| 地址： | 臺灣省*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 等離子體 處理 裝置 | ||
【說明書】：
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