[發(fā)明專利]單片集成的直拉直壓微梁結(jié)構(gòu)壓阻加速度傳感器及制作方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 02151296.5 | 申請日： | 2002-12-13 |
| 公開（公告）號： | CN1415968A | 公開（公告）日： | 2003-05-07 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 李昕欣;黃樹森;王躍林 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所 |
| 主分類號： | G01P15/12 | 分類號： | G01P15/12 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 單片 集成 拉直 壓微梁 結(jié)構(gòu) 加速度 傳感器 制作方法 | ||
【說明書】：
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