[發明專利]半導體裝置無效
| 申請號： | 02147249.1 | 申請日： | 2002-10-21 |
| 公開（公告）號： | CN1438710A | 公開（公告）日： | 2003-08-27 |
| 發明（設計）人： | 上野修一;古田陽雄;久家重博;加藤宏 | 申請（專利權）人： | 三菱電機株式會社 |
| 主分類號： | H01L29/78 | 分類號： | H01L29/78;H01L27/088 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 劉宗杰,王忠忠 |
| 地址： | 暫無信息 | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 半導體 裝置 | ||
【權利要求書】：
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