[發明專利]薄膜壓電體元件和其制造方法以及使用該元件的致動器裝置無效
| 申請號： | 02146999.7 | 申請日： | 2002-09-30 |
| 公開（公告）號： | CN1420497A | 公開（公告）日： | 2003-05-28 |
| 發明（設計）人： | 內山博一 | 申請（專利權）人： | 松下電器產業株式會社 |
| 主分類號： | G11B21/21 | 分類號： | G11B21/21 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所 | 代理人： | 沈昭坤 |
| 地址： | 日本國*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 薄膜 壓電 元件 制造 方法 以及 使用 致動器 裝置 | ||
【權利要求書】：
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