[發明專利]用于使面板表面曝光的裝置無效
| 申請號： | 02146972.5 | 申請日： | 2002-10-29 |
| 公開（公告）號： | CN1417645A | 公開（公告）日： | 2003-05-14 |
| 發明（設計）人： | 吉勒·維貝;曼努埃爾·奎瓦斯 | 申請（專利權）人： | 自動化技術公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司 | 代理人： | 蔡洪貴 |
| 地址： | 法國瓦*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 面板 表面 曝光 裝置 | ||
【說明書】：
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