[發明專利]具有光標尺的漸層遮光板曝光法的光罩及其偵測方法有效
| 申請號： | 02146322.0 | 申請日： | 2002-10-18 |
| 公開（公告）號： | CN1490675A | 公開（公告）日： | 2004-04-21 |
| 發明（設計）人： | 黃淑義 | 申請（專利權）人： | 友達光電股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;G03F9/00;G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 | 代理人： | 王學強 |
| 地址： | 臺灣省新竹科學*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 具有 標尺 遮光板 曝光 及其 偵測 方法 | ||
【權利要求書】：
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