[發明專利]以無機鹽為前驅物制備隔離層的方法有效
| 申請號: | 02145972.X | 申請日: | 2002-10-28 |
| 公開(公告)號: | CN1494168A | 公開(公告)日: | 2004-05-05 |
| 發明(設計)人: | 劉慧舟;楊堅 | 申請(專利權)人: | 北京有色金屬研究總院 |
| 主分類號: | H01L39/24 | 分類號: | H01L39/24;B05D5/12;B05D3/00 |
| 代理公司: | 北京北新智誠知識產權代理有限公司 | 代理人: | 程鳳儒 |
| 地址: | 10008*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 無機鹽 前驅 制備 隔離 方法 | ||
【說明書】:
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