[發明專利]半導體薄膜及其制造方法以及半導體器件及其制造方法無效
| 申請號： | 02144036.0 | 申請日： | 1997-02-23 |
| 公開（公告）號： | CN1495910A | 公開（公告）日： | 2004-05-12 |
| 發明（設計）人： | 山崎舜平;宮永昭治;小山潤;福永健司 | 申請（專利權）人： | 株式會社半導體能源研究所 |
| 主分類號： | H01L29/78 | 分類號： | H01L29/78;G02F1/136;H01L27/108;H01L27/11 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 梁永 |
| 地址： | 日本神*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 半導體 薄膜 及其 制造 方法 以及 半導體器件 | ||
【說明書】：
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