[發明專利]非水系保護膜剝離液管理裝置及非水系保護膜剝離液管理方法有效
| 申請號： | 02143743.2 | 申請日： | 2002-06-25 |
| 公開（公告）號： | CN1403877A | 公開（公告）日： | 2003-03-19 |
| 發明（設計）人： | 中川俊元;片桐優子;小川修;森田悟;菊川誠 | 申請（專利權）人： | 株式會社平間理化研究所;長瀨產業株式會社;長瀨CMS科學技術株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/42 | 分類號： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 | 代理人： | 陳昕 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 水系 保護膜 剝離 管理 裝置 方法 | ||
【權利要求書】：
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