[發明專利]濺射靶有效
| 申請號： | 02143594.4 | 申請日： | 2002-10-11 |
| 公開（公告）號： | CN1412342A | 公開（公告）日： | 2003-04-23 |
| 發明（設計）人： | 內海健太郎;原慎一;長崎裕一 | 申請（專利權）人： | 東曹株式會社 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 胡強,楊松齡 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 濺射 | ||
【權利要求書】：
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