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[發明專利]半導體裝置及其制造方法有效

專利信息
申請號: 02142596.5 申請日: 2002-09-24
公開(公告)號: CN1494155A 公開(公告)日: 2004-05-05
發明(設計)人: 蝦名昭彥;井上晉 申請(專利權)人: 精工愛普生株式會社
主分類號: H01L27/10 分類號: H01L27/10;H01L21/8239;H01L21/8247
代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 代理人: 汪惠民
地址: 日本國*** 國省代碼: 日本;JP
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 半導體 裝置 及其 制造 方法
【說明書】:
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說明:

1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

3、專利數據每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

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