[發(fā)明專利]感光性導(dǎo)電膠、導(dǎo)體圖形形成法和陶瓷多層構(gòu)件制法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 02141911.6 | 申請日: | 2002-08-07 |
| 公開(公告)號: | CN1403874A | 公開(公告)日: | 2003-03-19 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 久保田正博 | 申請(專利權(quán))人: | 株式會社村田制作所 |
| 主分類號: | G03F7/027 | 分類號: | G03F7/027;G03F7/033;G03F7/00 |
| 代理公司: | 上海專利商標(biāo)事務(wù)所 | 代理人: | 陳劍華 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 感光性 導(dǎo)電 導(dǎo)體 圖形 形成 陶瓷 多層 構(gòu)件 制法 | ||
【說明書】:
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G03 攝影術(shù);電影術(shù);利用了光波以外其他波的類似技術(shù);電記錄術(shù);全息攝影術(shù)
G03F 圖紋面的照相制版工藝,例如,印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝;其所用材料;其所用原版;其所用專用設(shè)備
G03F7-00 圖紋面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工藝;圖紋面照相制版用的材料,如:含光致抗蝕劑的材料;圖紋面照相制版的專用設(shè)備
G03F7-004 .感光材料
G03F7-12 .網(wǎng)屏印刷模或類似印刷模的制作,例如,鏤花模版的制作
G03F7-14 .珂羅版印刷模的制作
G03F7-16 .涂層處理及其設(shè)備
G03F7-20 .曝光及其設(shè)備
G03F 圖紋面的照相制版工藝,例如,印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝;其所用材料;其所用原版;其所用專用設(shè)備
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