[發(fā)明專利]研磨用組合物及用它的研磨方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 02141814.4 | 申請(qǐng)日： | 2002-08-09 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN1407050A | 公開（公告）日： | 2003-04-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 大野晃司;酒井謙兒;伊奈克芳 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 不二見株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào)： | C09K3/14 | 分類號(hào)： | C09K3/14;H01L21/304;B24B1/00 |
| 代理公司： | 上海專利商標(biāo)事務(wù)所 | 代理人： | 陳劍華 |
| 地址： | 日本*** | 國(guó)省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 研磨 組合 方法 | ||
【說明書】：
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