[發明專利]半導體裝置及其制造方法無效
| 申請號： | 02141230.8 | 申請日： | 2002-06-28 |
| 公開（公告）號： | CN1428854A | 公開（公告）日： | 2003-07-09 |
| 發明（設計）人： | 本浪康司;增田裕;深谷忠男 | 申請（專利權）人： | 株式會社東芝 |
| 主分類號： | H01L23/50 | 分類號： | H01L23/50;H01L23/495;H01L21/60;H01L21/48 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所 | 代理人： | 孫敬國 |
| 地址： | 暫無信息 | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 半導體 裝置 及其 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
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