[發明專利]濾色片、液晶顯示裝置、電致發光基板的制造方法及制造裝置

無效

• 申請號: 02141207.3
• 申請日: 2002-07-03
• 公開（公告）號: CN1395119A
• 公開（公告）日: 2003-02-05
• 發明（設計）人: 伊藤達也;有賀久;片上悟;川瀨智已
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G02B5/23
• 分類號: G02B5/23;G02F1/1335;B05B1/00
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 劉宗杰,葉愷東

[發明的詳細說明]

[發明所屬的技術領域]

本發明涉及濾色片的制造方法及制造裝置、液晶顯示裝置的制造方法及制造裝置、電致發光發光層配置基板的制造方法及制造裝置、電致發光裝置的制造方法及制造裝置。另外，本發明涉及利用噴頭對基板一邊進行掃描，一邊將噴出物噴射到該基體材料上的噴頭的掃描方法及噴頭的掃描裝置。另外，本發明涉及在基板上形成膜的成膜方法及成膜裝置。另外，本發明涉及電光裝置及其制造方法、以及電子裝置。

[現有的技術]

近年來，液晶顯示裝置、電致發光裝置等顯示裝置被廣泛地用于移動電話機、便攜型計算機等電子裝置的顯示部中。另外，多半使用這樣的顯示裝置使電子裝置的顯示部進行全色顯示。

例如，通過使由液晶層調制的光通過濾色片，進行液晶顯示裝置的全色顯示。通過將R(紅)、G(綠)及B(藍)色的呈點狀的各色濾色元按照條形排列、三角形排列或鑲嵌形排列等規定的排列方法，配置在由玻璃、塑料等構成的基板的表面上，形成這樣的濾色片。

另外，能通過這樣的方法進行電致發光裝置的全色顯示：例如將R(紅)、G(綠)、B(藍)色的呈點狀的各色發光層按照條形排列、三角形排列或鑲嵌形排列等規定的排列方法，配置在由玻璃、塑料等構成的基板的表面上，形成電致發光基板，用一對電極夾持該電致發光基板的發光層，形成多個顯示點，對每個顯示點控制加在這些電極上的電流或電壓，使顯示點發出所希望顏色的光。

迄今，在對濾色片的R(紅)、G(綠)、B(藍)各色濾色元進行構圖的情況下，或者在對電致發光基板的R(紅)、G(綠)、B(藍)色的各發光層進行構圖的情況下，能采用光刻法。可是，在該光刻法中，需要對每個顯示點使用不同圖形的掩模，進行曝光、顯影、清洗等繁雜的工序，同時由于消耗大量的各色材料及光致抗蝕劑，所以存在成本增高等問題。

為了解決該問題，提出了采用噴墨法呈點狀地噴射濾色材料或發光層形成材料等，形成濾色元或發光層等方法。該噴墨法例如能用備有壓電體薄膜元件的噴墨頭進行。

在該噴墨法中，將像素形成用的油墨存儲在噴墨頭的加壓室中，利用上述的壓電體元件的振動引起的加壓室的體積變化，噴射該油墨，因此，在濾色片的基板上形成像素。如果采用該噴墨法，則能提高濾色片等的生產效率。另外，在該噴墨法中由于能控制墨量的高度，所以能有效地制造高精細的濾色片。

在圖25及圖26中示出了通過采用噴墨法呈點狀地噴射濾色材料或發光層形成材料等，形成呈點狀排列的濾色元或發光層等的方法之一例。

使用備有將圖25(c)所示的多個噴嘴304排列成列狀的噴嘴列305的噴墨頭306，按照噴墨法，如圖25(a)所示，在由玻璃、塑料等構成的大面積的基板(所謂的母板)301的表面上形成的多個面板區域302的內部區域中，如圖25(b)所示，形成呈點狀排列的多個濾色元303。

在此情況下，如圖25(b)所示，例如使噴墨頭306沿著箭噴頭A1及箭噴頭A2所示的方向，對一個面板區域302進行多次主掃描，在圖25(b)所示的情況下為兩次主掃描，同時在這些主掃描之間有選擇地從多個噴嘴304噴墨、例如噴射濾色材料，在所希望的位置形成濾色元303。

這里，通過使R(紅)、G(綠)及B(藍)各色呈條形排列、三角形排列或鑲嵌形排列等形態排列，形成濾色元303。因此，用圖25(b)所示的噴墨頭306形成濾色元303按如下方法進行：對應于R(紅)、G(綠)、B(藍)三種顏色，預先準備三種只噴射R(紅)、G(綠)、B(藍)中的一種顏色的噴墨頭306，對應于三種顏色依次反復使用這些噴墨頭306，能在一塊母板301上形成R(紅)、G(綠)、B(藍)三色排列。

[發明要解決的課題]

可是，在噴墨頭306中，一般說來，構成噴嘴列305的多個噴嘴304的噴墨量有離散。例如，如圖26(a)所示，噴墨頭306往往有下述的噴墨特性Q：對應于噴嘴列305的兩端部的位置的噴射量多，其中央部次多，它們的中間部的噴射量少。另外，在圖26(a)中示出了噴嘴304的個數為180個的情況。

如果考慮這樣的噴墨量的離散，則如圖25(b)所示，在由噴墨頭306形成了濾色元303的情況下，如圖26(b)所示，在與位于噴墨頭306的兩端部的噴嘴對應的濾色元303的形成區域P1或與位于中央部的噴嘴對應的濾色元303的形成區域P2中，形成濃度大的條紋，存在濾色片的平面光透射特性或反射特性不均勻的問題。另外，根據不同情況，有時在形成區域P1及P2兩個區域中形成濃度大的條紋。