[發明專利]掩膜圖案的校正方法有效
| 申請號： | 02141166.2 | 申請日： | 2002-07-08 |
| 公開（公告）號： | CN1405634A | 公開（公告）日： | 2003-03-26 |
| 發明（設計）人： | 謝昌志;黃俊仁;洪圭鈞;王見明 | 申請（專利權）人： | 聯華電子股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F9/00 | 分類號： | G03F9/00;G03F1/16;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務所 | 代理人： | 魏曉剛,李曉舒 |
| 地址： | 臺灣省新竹*** | 國省代碼： | 臺灣;71 |
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【權利要求書】：
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