[發(fā)明專利]簡化制造工藝的有源矩陣有機(jī)電致發(fā)光器件及其制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 02140533.6
• 申請日: 2002-06-28
• 公開（公告）號: CN1399504A
• 公開（公告）日: 2003-02-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 樸宰用;柳俊錫;金圣起;樸容仁
• 申請（專利權(quán)）人: LG.菲利浦LCD株式會社
• 主分類號: H05B33/14
• 分類號: H05B33/14;H05B33/10;H01L27/15
• 代理公司: 隆天國際專利商標(biāo)代理有限公司
• 代理人: 徐金國,陳紅

1、一種有源矩陣有機(jī)電致發(fā)光器件包括：

一基板；

基板上的一半導(dǎo)體層和一存儲電極；

半導(dǎo)體層和存儲電極上的柵極絕緣層，柵極絕緣層具有源極和漏極接觸孔；

位于半導(dǎo)體層之上的柵極絕緣層上的一柵電極；

柵電極上的第一絕緣層，第一絕緣層覆蓋存儲電極并且具有與柵極絕緣層共同的源極和漏極接觸孔；

位于存儲電極之上的第一絕緣層上的電源電極；

第一絕緣層上的第一電極；

第一電極上的第二絕緣層，第二絕緣層具有一開口部、一電極接觸孔和一存儲接觸孔，第二絕緣層具有與柵極絕緣層和第一絕緣層共同的源極和漏極接觸孔；

在第二絕緣層上彼此分開的源極和漏極，源極通過源極接觸孔連接到半導(dǎo)體層，并通過存儲接觸孔連接到電源電極，漏極通過漏極接觸孔連接到半導(dǎo)體，并通過電極接觸孔連接到第一電極；

源極和漏極上的第三絕緣層，第三絕緣層具有與第二絕緣層共同的開口部；

第三絕緣層上的一有機(jī)電致發(fā)光層，有機(jī)電致發(fā)光層通過開口部接觸到第一電極；以及

有機(jī)電致發(fā)光層上的第二電極。

2、按照權(quán)利要求1的器件，其特征是第一，第二和第三絕緣層是用無機(jī)絕緣材料制成的。

3、按照權(quán)利要求2的器件，其特征在于無機(jī)絕緣材料是氧化硅(SiO₂)和氮化硅(SiNx)之一。

4、按照權(quán)利要求1的器件，其特征在于半導(dǎo)體層和存儲電極是同時形成的。

5、按照權(quán)利要求1的器件，其特征是半導(dǎo)體層和存儲電極在同一層中。

6、按照權(quán)利要求1的器件，其特征是在半導(dǎo)體層的側(cè)端部攙雜離子。

7、按照權(quán)利要求1的器件，其特征是第一電極是用透明導(dǎo)電材料制成的。

8、按照權(quán)利要求7的器件，其特征是透明導(dǎo)電材料是銦錫氧化物(ITO)。

9、按照權(quán)利要求1的器件，其特征是第二電極是用逸出功在4eV以下的不透明導(dǎo)電材料制成的。

10、按照權(quán)利要求9的器件，其特征是不透明導(dǎo)電材料是堿金屬。

11、按照權(quán)利要求9的器件，其特征是不透明導(dǎo)電材料是鎂/銀(Mg∶Ag)合金、鋁/鋰(Al∶Li)合金及雙層的氟化鋰(LiF)和鋁(Al)之一。

12、按照權(quán)利要求1的器件，其特征是進(jìn)一步包括沿第一方向的掃描線，以及沿第二方向的信號線和電源線，掃描線包括柵電極，信號線包括源極，而電源線包括電源電極并且與信號線分開。

13、按照權(quán)利要求1的器件，其特征是有機(jī)電致發(fā)光層具有一空穴注入層、一空穴遷移層、一發(fā)射層及一電子遷移層。

14、按照權(quán)利要求1的器件，其特征是有機(jī)電致發(fā)光層是用真空蒸發(fā)法形成的。

15、按照權(quán)利要求1的器件，其特征在于半導(dǎo)體層是用多晶硅制成的。

16、一種有源矩陣有機(jī)電致發(fā)光器件的制造方法包括：

在一基板上形成一半導(dǎo)體層和一存儲電極；

在半導(dǎo)體層和存儲電極上形成一柵極絕緣層，柵極絕緣層具有源極和漏極接觸孔；

在半導(dǎo)體層之上的柵極絕緣層上形成一柵電極；

在柵電極上形成第一絕緣層，第一絕緣層覆蓋存儲電極并且具有與柵極絕緣層共同的源極和漏極接觸孔；

在位于存儲電極之上的第一絕緣層上形成電源電極；

在第一絕緣層上形成第一電極；

在第一電極上形成第二絕緣層，第二絕緣層具有一開口部、一電極接觸孔和一存儲接觸孔，第二絕緣層具有與柵極絕緣層和第一絕緣層共同的源極和漏極接觸孔；

在第二絕緣層上形成彼此分開的源極和漏極，源極通過源極接觸孔連接到半導(dǎo)體層，并通過存儲接觸孔連接到電源電極，漏極通過漏極接觸孔連接到半導(dǎo)體，并通過電極接觸孔連接到第一電極；

在源極和漏極上形成第三絕緣層，第三絕緣層具有與第二絕緣層共司的開口部；

在第三絕緣層上形成一個有機(jī)電致發(fā)光層，有機(jī)電致發(fā)光層通過開口部接觸到第一電極；并且

在有機(jī)電致發(fā)光層上形成第二電極。