[發(fā)明專利]一種利用硅片制作的微機(jī)械光開關(guān)無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 02137791.X | 申請(qǐng)日： | 2002-11-01 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN1405592A | 公開（公告）日： | 2003-03-26 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 向民;楊藝榕;王躍林 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所 |
| 主分類號(hào)： | G02B6/35 | 分類號(hào)： | G02B6/35;H04B10/12 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 利用 硅片 制作 微機(jī) 開關(guān) | ||
【權(quán)利要求書】：
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