[發明專利]測量光學薄膜等效折射率及物理厚度的設備和方法無效
| 申請號： | 02137758.8 | 申請日： | 2002-10-31 |
| 公開（公告）號： | CN1405550A | 公開（公告）日： | 2003-03-26 |
| 發明（設計）人： | 陸衛;王少偉;陳效雙;李志鋒;李寧;陳貴賓 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海技術物理研究所 |
| 主分類號： | G01N21/41 | 分類號： | G01N21/41;G01B11/02 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 20008*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 測量 光學薄膜 等效 折射率 物理 厚度 設備 方法 | ||
【權利要求書】：
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