[發(fā)明專(zhuān)利]一種高固有頻率的量程可達(dá)200萬(wàn)m/s2的微機(jī)械加速度傳感器無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 02136742.6 | 申請(qǐng)日： | 2002-08-30 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN1425922A | 公開(kāi)（公告）日： | 2003-06-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王鉆開(kāi);陸德仁;黃全平 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | G01P15/12 | 分類(lèi)號(hào)： | G01P15/12 |
| 代理公司： | 上海智信專(zhuān)利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050 *** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 固有頻率 量程 200 s2 微機(jī) 加速度 傳感器 | ||
【說(shuō)明書(shū)】：
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