[發明專利]窄帶光譜響應的量子阱紅外探測器

無效

• 申請號: 02136721.3
• 申請日: 2002-08-29
• 公開（公告）號: CN1399351A
• 公開（公告）日: 2003-02-26
• 發明（設計）人: 陸衛;甄紅樓;李寧;徐向晏;李志鋒;陳效雙
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海技術物理研究所
• 主分類號: H01L31/00
• 分類號: H01L31/00;H01L27/14;G01J1/02
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司
• 代理人: 郭英

1.一種窄帶光譜響應的量子阱紅外探測器，包括：窄帶濾光片(1)和量子阱薄層(2)，窄帶濾光片由襯底和在襯底二面交替蒸鍍多層低折射率膜層和高折射率膜層組成，膜層厚度為隨機漲落的層厚，由計算機產生，襯底材料為常規的紅外窗口材料，如硅、鍺、硫化鋅、硒化鋅等；其特征在于：

a.在窄帶濾光片(1)的一表面貼附著量子阱薄層(2)，在量子阱薄層(2)上面還制備有一無序型光柵(3)；

b.窄帶濾光片的中心波長必需與量子阱紅外探測器所要探測的波長一至。

2.根據權利要求1一種窄帶光譜響應的量子阱紅外探測器，其特征在于：所說的量子阱薄層(2)的結構為任意一種利用子帶間躍遷導致紅外光探測響應的結構，如GaAs/AlGaAs量子阱結構或InGaAs/GaAs結構。