[發明專利]管筒狀工件內表面束線離子注入裝置無效
| 申請號： | 02133102.2 | 申請日： | 2002-09-30 |
| 公開（公告）號： | CN1414136A | 公開（公告）日： | 2003-04-30 |
| 發明（設計）人： | 田修波;楊士勤 | 申請（專利權）人： | 哈爾濱工業大學 |
| 主分類號： | C23C14/48 | 分類號： | C23C14/48 |
| 代理公司： | 哈爾濱市松花江專利事務所 | 代理人： | 畢志銘 |
| 地址： | 150001 黑龍*** | 國省代碼： | 黑龍江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 管筒狀 工件 表面 離子 注入 裝置 | ||
【說明書】：
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