[發明專利]利用（110）硅片制作微機械光開關、光開關陣列及方法無效
| 申請號： | 02133096.4 | 申請日： | 2002-09-29 |
| 公開（公告）號： | CN1402034A | 公開（公告）日： | 2003-03-12 |
| 發明（設計）人： | 董瑋;陳維友;劉彩霞;張龍;徐寶琨 | 申請（專利權）人： | 吉林大學 |
| 主分類號： | G02B6/35 | 分類號： | G02B6/35;G02B26/08;H04B10/12;H04J14/02 |
| 代理公司： | 長春吉大專利代理有限責任公司 | 代理人： | 張景林,張凱軍 |
| 地址： | 130023 吉林*** | 國省代碼： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 利用 110 硅片 制作 微機 開關 陣列 方法 | ||
【權利要求書】：
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