[發(fā)明專利]一種靜電驅(qū)動的可調(diào)諧微型光學(xué)器件及其制作無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 02133087.5 | 申請日： | 2002-09-28 |
| 公開（公告）號： | CN1402023A | 公開（公告）日： | 2003-03-12 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 梁靜秋;鞠揮;王淑榮 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機械與物理研究所 |
| 主分類號： | G02B5/18 | 分類號： | G02B5/18;G02F1/01 |
| 代理公司： | 長春科宇專利代理有限責(zé)任公司 | 代理人： | 梁愛榮 |
| 地址： | 130022 *** | 國省代碼： | 吉林;22 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 靜電 驅(qū)動 調(diào)諧 微型 光學(xué) 器件 及其 制作 | ||
【權(quán)利要求書】：
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