[發明專利]磁控式搖擺掃瞄型濺鍍機有效
| 申請號： | 02132236.8 | 申請日： | 2002-09-03 |
| 公開（公告）號： | CN1480557A | 公開（公告）日： | 2004-03-10 |
| 發明（設計）人： | 鄧敦和;李正中 | 申請（專利權）人： | 瀚宇彩晶股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司 | 代理人： | 黃志華 |
| 地址： | 臺灣省*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 磁控式 搖擺 掃瞄型濺鍍機 | ||
【說明書】：
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