[發(fā)明專利]化學放大型正性抗蝕劑組合物有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 02132225.2 | 申請日： | 2002-09-04 |
| 公開（公告）號： | CN1407405A | 公開（公告）日： | 2003-04-02 |
| 發(fā)明（設計）人： | 末次益實;山田愛理;上谷保則 | 申請（專利權）人： | 住友化學工業(yè)株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/039 | 分類號： | G03F7/039;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 | 代理人： | 陳長會 |
| 地址： | 日本國*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 化學 大型 正性抗蝕劑 組合 | ||
【權利要求書】：
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