[發(fā)明專利]處理銅化學機械研磨廢水的方法及裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 02132007.1 | 申請日： | 2002-09-06 |
| 公開（公告）號： | CN1480407A | 公開（公告）日： | 2004-03-10 |
| 發(fā)明（設計）人： | 沙煒華;丁瑞華;陳世忠;楊隆吉 | 申請（專利權）人： | 臺灣積體電路制造股份有限公司 |
| 主分類號： | C02F1/52 | 分類號： | C02F1/52 |
| 代理公司： | 隆天國際知識產(chǎn)權代理有限公司 | 代理人： | 樓仙英;潘培坤 |
| 地址： | 臺灣*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 處理 化學 機械 研磨 廢水 方法 裝置 | ||
【權利要求書】：
下載完整專利技術內(nèi)容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于臺灣積體電路制造股份有限公司，未經(jīng)臺灣積體電路制造股份有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權和技術合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/02132007.1/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
