[發明專利]一種化學機械研磨漿料組成無效
| 申請號： | 02131650.3 | 申請日： | 2002-09-12 |
| 公開（公告）號： | CN1410501A | 公開（公告）日： | 2003-04-16 |
| 發明（設計）人： | 胡紹中;蔡騰群;許嘉麟 | 申請（專利權）人： | 聯華電子股份有限公司 |
| 主分類號： | C09K3/14 | 分類號： | C09K3/14 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司 | 代理人： | 劉朝華 |
| 地址： | 臺灣省*** | 國省代碼： | 臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 化學 機械 研磨 漿料 組成 | ||
【權利要求書】：
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