[發明專利]曝光裝置及曝光方法有效
| 申請號： | 02128690.6 | 申請日： | 2002-08-12 |
| 公開（公告）號： | CN1475862A | 公開（公告）日： | 2004-02-18 |
| 發明（設計）人： | 林本堅 | 申請（專利權）人： | 臺灣積體電路制造股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司 | 代理人： | 劉領弟 |
| 地址： | 臺灣省新竹*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 曝光 裝置 方法 | ||
【說明書】：
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