[發明專利]真空蒸鍍聚合裝置及采用該裝置的有機被膜的形成方法

無效

• 申請號: 02124747.1
• 申請日: 2002-06-24
• 公開（公告）號: CN1396301A
• 公開（公告）日: 2003-02-12
• 發明（設計）人: 白川享志;及川直樹
• 申請（專利權）人: 阿爾卑斯電氣株式會社
• 主分類號: C23C14/12
• 分類號: C23C14/12
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 汪惠民

1、一種真空蒸鍍聚合裝置，其特征在于，配有：可向外部排出內部空氣形成真空狀態的容器，可使單體氣化的氣體發生器，將由該氣體發生器氣化的單體氣體導入到前述容器內的氣體導入管，在前述容器內擴散前述單體氣體并蒸鍍形成有機被膜的被覆物，

在前述容器內，使前述被覆物以規定的傾斜角度傾斜，在使前述被覆物的一個面向下的狀態下，在前述被覆物上蒸鍍形成前述有機被膜。

2、如權利要求1所述的真空蒸鍍聚合裝置，其特征在于，在前述容器內，具有對由前述氣體發生器流入的前述單體氣體氣流進行整流的氣體整流板，在該氣體整流板上配置可安裝前述被覆物的保持卡具，前述被覆物按照前述傾斜角度傾斜排列、安裝在前述保持卡具的安裝面上。

3、如權利要求1所述的真空蒸鍍聚合裝置，其特征在于，前述傾斜角度為使前述被覆物從垂直狀態以10～60度的角度傾斜的角度。

4、如權利要求1所述的真空蒸鍍聚合裝置，其特征在于，在前述容器內，具有對由前述氣體發生器流入的前述單體氣體氣流進行整流的氣體整流板，在該氣體整流板上，具有可相對于安裝面大致呈垂直狀排列、安裝前述被覆物的保持卡具，通過使該保持卡具或前述氣體整流板以規定角度傾斜，從而前述被覆物以前述傾斜角度傾斜，并使前述一個面向下。

5、如權利要求4所述的真空蒸鍍聚合裝置，其特征在于，前述傾斜角度為使前述被覆物從垂直狀態以10～30度的角度傾斜的角度。

6、一種有機被膜的形成方法，其特征在于，利用權利要求1的真空蒸鍍聚合裝置，在前述被覆物上蒸鍍形成前述有機被膜。

7、一種真空蒸鍍聚合裝置，其特征在于，配有：可向外部排出內部空氣形成真空狀態的容器，可使單體氣化的氣體發生器，將由該氣體發生器產生的單體氣體導入到前述容器中的氣體導入管，在前述容器內擴散前述單體氣體并蒸鍍形成有機膜的被覆物，

在配置于前述容器內的氣體整流板上載置前述被覆物，在前述被覆物上方配置有防塵板的狀態下，在前述被覆物上蒸鍍形成前述有機被膜。

8、一種有機被膜的形成方法，其特征在于，采用權利要求7所述的真空蒸鍍聚合裝置，在前述被覆物上蒸鍍形成前述有機被膜。