[發明專利]監視服務器連接在網絡上的通信監視系統

無效

• 申請號: 02124736.6
• 申請日: 2002-06-21
• 公開（公告）號: CN1394039A
• 公開（公告）日: 2003-01-29
• 發明（設計）人: 廣瀨琢哉
• 申請（專利權）人: 日本電氣株式會社
• 主分類號: H04L12/24
• 分類號: H04L12/24
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 穆德駿,方挺

1.一種通信監視系統，包括：

與網絡連接的半導體器件制造裝置；

與所述網絡連接的主計算機，其中，所述半導體器件制造裝置和所述主計算機通過所述網絡執行關于所述半導體器件制造裝置加工的通信序列；

與所述網絡連接的監視單元，它通過在所述半導體器件制造裝置和所述主計算機之間的所述網絡取得所述第一通信序列的第一組數據分組和所述第二通信序列的第二組數據分組，和根據所述第一和第二組的所述數據分組判斷在所述半導體器件制造裝置和所述主計算機之間的所述通信是正常還是有故障。

2.根據權利要求1的通信監視系統，其中，所述監視單元比較所述第一組的所述數據分組的順序與所述第二組的所述數據分組的順序，并根據所述第一組的所述數據分組的順序與所述第二組的所述數據分組的順序的比較結果，判斷在所述半導體器件制造裝置和所述主計算機之間的所述通信是正常還是有故障。

3.根據權利要求1的通信監視系統，其中，當在所述第二通信序列中從所述半導體器件制造裝置向所述主計算機傳輸的所述第二組的第一所述數據分組被判定為正常、但是還未由所述主計算機接收時，所述監視單元指示所述主計算機在傳輸所述第一數據分組之后立即接收通過所述網絡在所述第二通信序列中從所述半導體器件制造裝置向所述主計算機傳輸的所述第二組的第二所述數據分組。

4.根據權利要求3的通信監視系統，其中，所述監視單元進一步指示所述主計算機在接收所述第二數據分組后繼續進行所述第二序列的后繼的通信。

5.根據權利要求1的通信監視系統，其中，當所述第一數據分組從所述半導體器件制造裝置和所述主計算機中的一個向二者之中的另一個傳輸，然后所述第二組的第三所述數據分組，未緊接所述第一數據分組、在從所述第一數據分組傳輸開始的一個預定時間內從二者之中的另一個通過所述網絡向所述的一個傳輸時，所述監視單元判定從所述半導體器件制造裝置和所述主計算機之一到二者之中的另一個的所述通信故障。

6.根據權利要求1到5中任何一項的通信監視系統，其中，所述第二組的每一所述數據分組具有一個通信報頭，所述報頭包含所述半導體器件制造裝置和所述主計算機之一的一個地址作為源地址，和二者之中的另一個的地址作為目的地地址，和用于所述半導體器件制造裝置的一個裝置ID，

當相應于所述半導體器件制造裝置的所述源地址和所述目的地地址之一不與所述裝置ID相應時，所述監視單元確定從所述半導體器件制造裝置和所述主計算機之一到二者之中的另一個的所述通信有故障。

7.根據權利要求1到5中任何一項的通信監視系統，其中，所述第二組的每一所述數據分組具有一個通信報頭，所述報頭包含所述半導體器件制造裝置和所述主計算機之一的一個地址作為源地址和二者之中的另一個的地址作為目的地地址，和用于所述半導體器件制造裝置的一個裝置ID，

當所述目的地地址在從所述主計算機到所述半導體器件制造裝置的所述數據分組之間彼此不一致時，所述監視單元確定從所述主計算機到所述半導體器件制造裝置的所述通信有故障。

8.根據權利要求1到5中任何一項的通信監視系統，其中，所述第二組的每一所述數據分組具有一個通信報頭，一個用于所述半導體器件制造裝置的裝置ID，和一個容納半導體晶片的托架的托架ID，

當所述托架ID在所述第二組的所述數據分組之間彼此不一致時，所述監視單元確定所述第二序列的所述通信有錯誤。

9.根據權利要求8的通信監視系統，其中，所述第二組的一些所述數據分組在通信報頭、裝置ID、和托架ID之外還有一個晶片ID，

當所述晶片ID不與所述第二組的所述一些數據分組之間彼此不一致時，所述監視單元確定所述第二序列的所述通信有錯誤。

10.根據權利要求1到5中任何一項的通信監視系統，其中，所述第二序列的每一所述通信按照一個預定的數據格式執行，

當數據格式在所述第二序列的相應的兩個所述通信之間彼此不一致時，所述監視單元確定所述通信的所述序列有錯誤。

11.根據權利要求1到5中任何一項的通信監視系統，其中，在判定所述通信的所述第二序列正常后，所述監視單元存儲所述通信的所述第一序列的所述數據分組的所述第一組，并舍棄所述通信的所述第二序列的所述數據分組的所述第二組。