[發明專利]腐蝕液的再生方法及腐蝕裝置

無效

• 申請號: 02123277.6
• 申請日: 2002-06-14
• 公開（公告）號: CN1392289A
• 公開（公告）日: 2003-01-22
• 發明（設計）人: 渡邊喜夫;三穗野博則;朝隈直子
• 申請（專利權）人: 索尼公司
• 主分類號: C23F1/46
• 分類號: C23F1/46
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 魏金璽,楊麗琴

1.一種腐蝕液的再生方法，其特征在于：該方法是將使用至少含有氯化鐵的腐蝕液腐蝕處理至少含有銅的金屬時所產生的疲勞液進行再生的方法，具有向上述疲勞液中添加析出劑，使溶解于上述疲勞液中的銅成分析出的工序。

2.根據權利要求1所記載的腐蝕液的再生方法，其中，使溶解于上述疲勞液中的銅成分析出的工序至少包括濃縮上述疲勞液的工序。

3.根據權利要求1所記載的腐蝕液的再生方法，其中，使溶解于上述疲勞液中的銅成分析出的工序至少包括冷卻上述疲勞液的工序。

4.根據權利要求1所記載的腐蝕液的再生方法，其中，在使溶解于上述疲勞液中的銅成分析出的工序中，作為上述析出劑向上述疲勞液中添加氯化銨。

5.根據權利要求1所記載的腐蝕液的再生方法，其中，上述腐蝕液還含有規定濃度的鹽酸。

6.根據權利要求1所記載的腐蝕液的再生方法，其中，上述腐蝕液還含有規定濃度的氯化銨。

7.根據權利要求1所記載的腐蝕液的再生方法，其中，還具有通過氧化使上述疲勞液再生的工序。

8.根據權利要求7所記載的腐蝕液的再生方法，其中，在通過氧化使上述疲勞液再生的工序中，向上述疲勞液中添加氧化劑。

9.根據權利要求1所記載的腐蝕液的再生方法，其中，還具有向上述疲勞液中添加鹽酸的工序。

10.一種腐蝕裝置，其特征在于：它是使用至少含有氯化鐵的腐蝕液將至少含有銅的金屬進行腐蝕處理的腐蝕裝置，該腐蝕裝置具有腐蝕液貯存槽、由上述腐蝕液貯存槽供給上述腐蝕液的腐蝕處理室、向在上述腐蝕處理室中腐蝕處理時所產生的疲勞液中添加析出劑，使溶解于上述疲勞液中的銅成分析出的銅成分析出處理槽、氧化上述疲勞液進行再生的再生處理槽，并且將通過上述銅成分析出處理槽和再生處理槽而再生的液體返回到上述腐蝕液貯存槽，作為上述腐蝕液而再利用。

11.根據權利要求10所記載的腐蝕裝置，其中，在上述再生處理槽中，至少一邊濃縮上述疲勞液，一邊使溶解于上述疲勞液中的銅成分析出。

12.根據權利要求10所記載的腐蝕裝置，其中，在上述再生處理槽中，至少一邊冷卻上述疲勞液，一邊使溶解于上述疲勞液中的銅成分析出。

13.根據權利要求10所記載的腐蝕裝置，其中，在對于上述再生處理槽中，作為上述析出劑向上述疲勞液中添加氯化銨。

14.根據權利要求10所記載的腐蝕裝置，其中，在上述腐蝕液貯存槽中貯藏的上述腐蝕液還含有規定濃度的鹽酸。

15.根據權利要求10所記載的腐蝕裝置，其中，在上述腐蝕液貯存槽中貯藏的上述腐蝕液還含有規定濃度的氯化銨。

16.根據權利要求10所記載的腐蝕裝置，其中，在上述再生處理槽中，向上述疲勞液中添加氧化劑進行氧化。

17.根據權利要求10所記載的腐蝕裝置，其中，在上述再生處理槽中，向上述疲勞液中添加鹽酸。