[發明專利]排氣小車式連續排氣處理中不合格屏板的檢測方法

無效

• 申請號: 02118665.0
• 申請日: 2002-04-25
• 公開（公告）號: CN1383176A
• 公開（公告）日: 2002-12-04
• 發明（設計）人: 木曾田欣彌
• 申請（專利權）人: 中外爐工業株式會社
• 主分類號: H01J9/42
• 分類號: H01J9/42;H01J9/385;C03B23/24
• 代理公司: 上海專利商標事務所
• 代理人: 劉立平

技術領域

本發明是涉及例如在用排氣小車對等離子顯示屏板(PDP)等的中空屏板內部進行連續排氣時的不合格屏板的檢測方法。

背景技術

以往，PDP等的屏板內真空排氣的方法有間歇處理式和連續處理式真空排氣的方法。在上述任一方式的真空排氣的方法中，真空排氣處理按下述方法進行的：使多只屏板大致保持垂直狀態或水平狀態位于爐內，同時，將裝配在各屏板上的頂管分別與排氣頭相接，而各排氣頭通過排氣集管與真空排氣裝置(真空泵)相接。另外，在PDP中，對屏板內進行真空排氣后，須要封入放電氣體，因此，所述排氣集管上了解有放電氣體供給管。

這樣，由于各屏板的排氣頭通過排氣集管與真空排氣裝置(真空泵)相接，故部份屏板存在頂管與排氣頭連接不良，屏板的密封不良或頂管破損等成為排氣不好原因的缺陷，另外，當在排氣處理中發生上述的缺陷時，則會導致所有的屏板排氣不良。

另一方面，上述排氣不良的檢測，系將真空計裝在上述排氣集管上，用該真空計監視排氣集管的真空度狀態進行的。例如，當排氣處理中頂管發生破損，則排氣集管的真空度急劇降低。這時，在間歇處理方式中，操作員手動操作各屏板的排氣開關閥，確定不合格屏板，并將特定屏板的排氣開關閥調在關閉狀態，由此對應上述情況。在連續處理方式中，邊使裝載多只屏板的排氣小車在爐內移動、邊進行排氣處理，因此，從作業安全方面看，與間歇處理方式同樣對應(人工確認)是困難的。從而，在排氣處理結束后(從連續爐搬出后)，用上述真空計確認排氣集管的真空度狀態來對應。

然而，搭載在排氣小車的多只屏板中即使只有1個屏板不合格，由于搭載在排氣小車的全部屏板是在排氣不良的狀態下實施規定的排氣處理，所以，在上述連續處理方式中的所述對應措施會產生生產效率降低的問題。

本發明的目的在于：提供一種由排氣小車進行排氣處理、不合格屏板的檢測方法，所述檢測方法檢測排氣處理中成為排氣不良原因的屏板，對其余屏板繼續進行排氣處理，由此防止生產效率降低。

發明內容

為達到上述目的，本發明提供了一種由排氣小車式連續排氣處理方法，對不合格屏板進行檢測的方法，所述方法至少在載持排氣裝置的排氣小車上保持多個屏板，將各屏板的頂管與排氣小車的排氣頭相接，同時，用各自裝有開關閥的排氣管通過排氣集管使上述排氣頭與排氣裝置相接，邊使該排氣小車在爐內移動邊進行排氣處理。此時，檢測得知上述多只屏板排氣不良時，將各屏板的上述開關閥全部關閉。然后，依次開關各屏板的開關閥測定各屏板的真空度，將所測得的其真空度在容許范圍以外屏板作為不合格屏板。

附圖的簡單說明

圖1是本發明的玻璃屏板的小車式處理設備的平面簡圖。

圖2是圖1密封處理(排氣)區的放大剖視圖。

圖3是夾著玻璃屏板組裝體的排氣小車的剖面圖。

圖4是玻璃屏板組裝體的說明用部份斜視圖。

圖5是列示排氣工序中不合格屏板的檢測狀態的排氣曲線圖。

圖6是排氣小車另一實施方式的剖視圖。

圖7是圖6中屏板疊放狀態的平面圖。

圖8是玻璃屏板組裝體垂直狀態錯開保持形式一例的正面圖。

圖9是玻璃屏板組裝體傾斜錯開保持形式一例的側面圖。

圖中，T為排氣小車式連續式爐，A為密封處理區，B為排氣區，C為冷卻區，Pa為頂管，P1為屏板組裝體，P2為屏板，W1為表面玻璃基板，W2為背面玻璃基板，7為開口部，10為排氣小車，14為真空排氣泵，15為放電氣體泵，16a、16b、20為電磁開關閥，17為排氣集管，18為排氣頭，19為排氣管，21為真空計21，22為控制器。

具體實施方式

以下，依據圖1～圖5說明本發明實施方式。

本發明適用的排氣小車式連續式爐T系在密封處理后繼續進行排氣處理的設備。如圖1和圖2所示，爐床全長上設有開口部7，并且分別由多只爐室組成的密封處理區A、排氣區B及冷卻區C構成。

如圖2所示，密封處理區A和排氣區B在爐內設置有循環檔板1的同時，循環通路2上配置輻射發熱管燃燒器或電熱器等熱源3。爐內氣氛是用循環風機4從吸入口5吸入，由上述熱源3進行加熱，從輸出口6排出，藉此，在爐內循環，對下述的玻璃屏板組裝體P1進行加熱。

又，冷卻區C為，除了上述密封處理區A(排氣區B)中的熱源3外，還具有外部空氣導入口或冷卻管等的冷卻源(未圖示)，其他結構與上述密封處理區A(排氣區B)同樣。