[發明專利]無電解銅電鍍液和高頻電子元件無效
| 申請號: | 02118658.8 | 申請日: | 2002-04-24 |
| 公開(公告)號: | CN1384222A | 公開(公告)日: | 2002-12-11 |
| 發明(設計)人: | 加納修;吉田健二 | 申請(專利權)人: | 株式會社村田制作所 |
| 主分類號: | C23C18/38 | 分類號: | C23C18/38;H01P11/00 |
| 代理公司: | 上海專利商標事務所 | 代理人: | 沈昭坤 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 電解銅 電鍍 高頻 電子元件 | ||
1.一種無電解銅電鍍液,其特征在于,包括:
銅鹽;
鎳鹽;
甲醛或其衍生物;和
酒石酸或酒石酸鹽。
2.如權利要求1所述的無電解銅電鍍液,其特征在于,鎳、銅離子克分子含量之比約為0.0001~0.015。
3.如權利要求2所述的無電解銅電鍍液,其特征在于,鎳、銅離子克分子含量之比約為0.0001~0.01。
4.如權利3所述的無電解銅電鍍液,其特征在于,鎳、銅離子克分子含量之比約為0.0005~0.05。
5.如權利要求4所述的無電解銅電鍍液,其特征在于,所述鎳、銅鹽為硫酸鹽。
6.如權利要求5的無電解銅電鍍液,其特征在于,酒石酸或酒石酸鹽是羅謝爾鹽。
7.如權利要求2所述的無電解銅電鍍液,其特征在于,所述鎳、銅鹽是硫酸鹽。
8.如權利要求7所述的無電解銅電鍍液,其特征在于,酒石酸或酒石酸鹽是羅謝爾鹽。
9.如權利要求1所述的無電解銅電鍍液,其特征在于,所述鎳、銅鹽是硫酸鹽。
10.如權利要求9所述的無電解銅電鍍液,其特征在于,所述酒石酸或酒石酸鹽是羅謝爾鹽。
11.一種在支架上含有銅鍍膜的高頻電子元件,其特征在于,所述銅鍍膜用權利要求6所述的電鍍銅溶液電鍍形成。
12.一種在支架上含有銅鍍膜的高頻電子元件,其特征在于,所述銅鍍膜用權利要求2所述的電鍍銅溶液電鍍形成。
13.一種在支架上含有銅鍍膜的高頻電子元件,其特征在于,所述銅鍍膜用權利要求1所述的電鍍銅溶液電鍍形成。
14.一種高頻電子元件,其特征在于,包括:
有一表面的陶瓷;和
所述陶瓷表面上的金屬膜;
其中金屬膜包括含鎳的銅,鎳與銅的克分子含量之比約為0.0001~0.015。
15.如權利要求14所述的高頻電子元件,其特征在于,所述金屬膜包括含鎳的銅,鎳與銅的克分子含量之比約為0.0001~0.01。
16.如權利要求15所述的高頻電子元件,其特征在于,所述金屬膜包括含鎳的銅,鎳與銅的克分子含量之比約為0.0005~0.05。
17.一種形成權利要求16所述的高頻電子元件的方法,其特征在于,包括在一種通氣的溶液中對陶瓷作無電鍍,所述溶液含有銅鹽、鎳鹽、甲醛或其衍生物和酒石酸或酒石酸鹽,其中鎳與銅離子的克分子含量之比約為0.0005~0.05,通氣速率約為0.2~0.4升/分鐘。
18.一種形成權利要求15所述的高頻電子元件的方法,其特征在于,包括在一種通氣的溶液中對陶瓷作無電鍍,所述溶液含有銅鹽、鎳鹽、甲醛或其衍生物和酒石酸或酒石酸鹽,其中鎳與銅離子的克分子含量之比約為0.0001~0.015,通氣速率約為0.1~0.5升/分鐘。
19.一種形成權利要求14所述的高頻電子元件的方法,其特征在于,包括在一種通氣的溶液中對陶瓷作無電鍍,所述溶液含有銅鹽、鎳鹽、甲醛或其衍生物和酒石酸或酒石酸鹽,其中鎳與銅離子的克分子含量之比約為0.0001~0.015,通氣速率約0.1~0.5升/分鐘。
20.一種形成權利要求19所述的高頻電子元件的方法,其中陶瓷在無電鍍之前已腐蝕。
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴散法,化學轉化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C18-00 通過液態化合物分解抑或覆層形成化合物溶液分解、且覆層中不留存表面材料反應產物的化學鍍覆
C23C18-02 .熱分解法
C23C18-14 .輻射分解法,例如光分解、粒子輻射
C23C18-16 .還原法或置換法,例如無電流鍍
C23C18-54 .接觸鍍,即無電流化學鍍
C23C18-18 ..待鍍材料的預處理





