[發明專利]投影光學系統和具有該投影光學系統的曝光裝置無效
| 申請號： | 02118048.2 | 申請日： | 2002-04-19 |
| 公開（公告）號： | CN1423147A | 公開（公告）日： | 2003-06-11 |
| 發明（設計）人： | 末永豐 | 申請（專利權）人： | 株式會社尼康 |
| 主分類號： | G02B13/00 | 分類號： | G02B13/00;G02B27/18;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中原信達知識產權代理有限責任公司 | 代理人： | 武玉琴,朱登河 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 投影 光學系統 具有 曝光 裝置 | ||
【權利要求書】：
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