[發明專利]在掃描探針顯微鏡懸臂及其針尖上沉積薄膜的方法無效
| 申請號： | 02111906.6 | 申請日： | 2002-05-31 |
| 公開（公告）號： | CN1461820A | 公開（公告）日： | 2003-12-17 |
| 發明（設計）人： | 張志濱;胡鈞;徐洪杰;朱德彰;李民乾 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海原子核研究所 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 | 代理人： | 肖劍南 |
| 地址： | 201800 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 掃描 探針 顯微鏡 懸臂 及其 針尖 沉積 薄膜 方法 | ||
【權利要求書】：
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