[發明專利]離子束增強磁控濺射滲鍍涂層裝置及工藝無效
| 申請號： | 02110192.2 | 申請日： | 2002-03-20 |
| 公開（公告）號： | CN1401816A | 公開（公告）日： | 2003-03-12 |
| 發明（設計）人： | 唐賓;潘俊德;徐重;田林海 | 申請（專利權）人： | 太原理工大學 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 太原市科瑞達專利代理有限公司 | 代理人： | 龐建英 |
| 地址： | 030003 *** | 國省代碼： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 離子束 增強 磁控濺射 涂層 裝置 工藝 | ||
【說明書】：
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