[發(fā)明專利]未加工陶瓷片、多層陶瓷電子元件的制造方法及未加工陶瓷片的載片無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 02106737.6 | 申請(qǐng)日: | 2002-03-05 |
| 公開(公告)號(hào): | CN1374668A | 公開(公告)日: | 2002-10-16 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 花井啟臣 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 日東電工株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào): | H01G4/30 | 分類號(hào): | H01G4/30;H01G4/12;H01F41/00 |
| 代理公司: | 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 | 代理人: | 陳瑞豐 |
| 地址: | 日本國*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 加工 陶瓷 多層 電子元件 制造 方法 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種未加工陶瓷片的制造方法。另外,本發(fā)明涉及一種多層陶瓷電子元件的制造方法,包括上述未加工陶瓷片之層壓體的制造工藝,還涉及在未加工陶瓷片制造方法中所用未加工陶瓷片的載片。另外,本發(fā)明涉及利用上述多層陶瓷電子元件制造方法制造的多層陶瓷電子元件。
背景技術(shù)
作為多層陶瓷電容器或電感器的多層陶瓷電子元件,是將其上制備有內(nèi)電極(因?yàn)閮?nèi)部需要電極)之預(yù)定數(shù)量的未加工陶瓷片層壓而制成的。然后,加熱烘焙,并在邊緣部分加給外電極。特別是多層陶瓷電容器等里面,因?yàn)榉浅P枰⌒突透咝阅?,所以需要在有限的厚度?nèi)增加上述未加工陶瓷片層的數(shù)量。因此,為了增加層的數(shù)量,應(yīng)將未加工陶瓷片制得更薄。
作為未加工陶瓷片的層壓方法,可以在未加工陶瓷片上已經(jīng)形成用作內(nèi)電極的電極圖案之后,層壓預(yù)定數(shù)量的未加工陶瓷片。但是,由于這種方法要有將電極印在未加工陶瓷片上的工藝,于是,因所形成電極的厚度而產(chǎn)生凸出的部分,然后隨著層壓層數(shù)量的增加,使這種厚度被累積起來。結(jié)果,就有可能導(dǎo)致未加工陶瓷片之間的移位等,而且也就不能得到具有預(yù)期之精確度的疊層。另外在層壓之后,在高壓下對(duì)未加工陶瓷片進(jìn)行按壓,以獲得更好的整體性。在這種情況下,在存在電極的部分和不存在電極的部分之間可能產(chǎn)生壓力差,因而導(dǎo)致分離、產(chǎn)率降低的可能性極高,并可能導(dǎo)致缺陷。
為了解決上述未加工陶瓷片層壓方法的問題,提出這樣一種方法,其中重復(fù)進(jìn)行操作,即在載片上形成用作內(nèi)電極的電極圖案之后,用陶瓷漿料形成未加工陶瓷片,然后將所獲得的未加工陶瓷片層壓在其它未加工陶瓷片上(JP6-61090A等)。在用這樣的方法獲得的未加工陶瓷片中,由于電極是嵌入在內(nèi)部的,所述未加工的片不具有電極所導(dǎo)致的凸出部分,可以獲得形成理想的層壓和薄膜。另外,在層壓之后的按壓加工中不會(huì)產(chǎn)生壓力不均勻,可以以更高的產(chǎn)率實(shí)現(xiàn)更好的整體性,可以通過高度多層層壓而獲得更好的性能。
在上述未加工陶瓷片的制造方法中,由于是在最后被分開的載片上形成未加工陶瓷片,因此需要這種載片具有可分離性能,它可以容易地與所得到的未加工陶瓷片相分離。另外,在載片中,必須確保圖案形成的精確性,從而當(dāng)形成用作內(nèi)電極的電極圖案時(shí)不會(huì)發(fā)生電極之間的移位。但是在傳統(tǒng)的用于未加工陶瓷片的載片中,還沒有任何滿足上述需要的實(shí)例。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種制造未加工陶瓷片的方法,其中可以以良好的圖案形成準(zhǔn)確性來形成電極,在未加工陶瓷片形成之后,可以容易地分離載片。也就是說,本發(fā)明的目的是提供以高度的精確性有效制造其中嵌有內(nèi)電極的未加工陶瓷片的方法。
本發(fā)明的另一目的是提供一種通過層壓上述未加工陶瓷片制造方法所制成的未加工陶瓷片而制造多層陶瓷電子元件的方法,還提供由該制造方法制造的多層陶瓷電子元件。
本發(fā)明的再一目的是提供一種未加工陶瓷片所用的載片,用于上述未加工陶瓷片制造方法和多層陶瓷電子元件的制造方法。
為實(shí)現(xiàn)上述目的,經(jīng)過專心和反復(fù)的驗(yàn)證,本發(fā)明人發(fā)現(xiàn),通過采用以下用于未加工陶瓷片的載片的方法可以實(shí)現(xiàn)上述目的,由此完成本發(fā)明。
本發(fā)明涉及一種制造未加工陶瓷片的方法,包括以下步驟:
在載片的經(jīng)加熱或者經(jīng)紫外固化而可以分離的膠粘劑層上形成預(yù)定的電極圖案,其中所述載片在基底膜的一側(cè)上包括該可分離的膠粘劑層,
用陶瓷漿料在其上形成有電極圖案的可分離膠粘劑層上形成未加工陶瓷片。
在上述本發(fā)明未加工陶瓷片的制造方法中,所用的載片具有經(jīng)加熱或者經(jīng)紫外固化而可分離的膠粘劑層,代替通過硅酮處理等而進(jìn)行分離處理的膜,以提供載片的可分離性能。
上述載片的經(jīng)加熱可分離的膠粘劑層在加熱時(shí)容易失去粘性,而形成可分離性。因此在未加工陶瓷片形成或?qū)訅褐?,通過加熱容易分離未加工陶瓷片和載片。另外,通過加熱可分離的膠粘劑層顯示出一定的粘性,從而在加以陶瓷漿料形成未加工陶瓷片的工藝中,在加以該層時(shí),可確??蓾櫇裥?。因此可以制成在載片側(cè)以優(yōu)異的圖案形成精確性形成有電極圖案的未加工片,而不會(huì)損壞所形成的內(nèi)電極圖案的位置的圖案形成精確性。
在上述未加工陶瓷片的制造方法中,優(yōu)選的方法是載片的通過加熱可分離的膠粘劑層在加熱時(shí)發(fā)泡,易于進(jìn)行分離。當(dāng)通過加熱可分離的膠粘劑層被加熱而發(fā)泡時(shí),使載片與未加工陶瓷片之間的粘和面積減少,從而使粘和強(qiáng)度減弱,結(jié)果可以容易地分離載片與未加工陶瓷片。作為在這種載片中經(jīng)加熱可分離的膠粘劑層,比如可以使用在膠粘劑層中含有可熱膨脹的微細(xì)顆粒的結(jié)構(gòu)類型。
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