[發(fā)明專利]遠(yuǎn)紅外線干燥裝置、干燥裝置構(gòu)成體及干燥方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 02106500.4
• 申請日: 2002-03-01
• 公開（公告）號: CN1374494A
• 公開（公告）日: 2002-10-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鈴木昇
• 申請（專利權(quán)）人: 大東制機株式會社
• 主分類號: F26B3/30
• 分類號: F26B3/30;H05K3/00
• 代理公司: 北京集佳專利商標(biāo)事務(wù)所
• 代理人: 王學(xué)強

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明關(guān)于一種遠(yuǎn)紅外線干燥裝置、干燥裝置構(gòu)成體及干燥方法，利用遠(yuǎn)紅外線，對涂布在印刷基板上的光阻油墨(resist?ink)或涂料，進(jìn)行干燥。

背景技術(shù)

以往雖已有利用遠(yuǎn)紅外線的干燥裝置。該干燥裝置使用在干燥涂布光阻油墨(resist?ink)的印刷基板等。特別以此干燥裝置在制作印刷基板的前工藝使用時，因熱源利用遠(yuǎn)紅外線的關(guān)系，印刷基板的表面在短時間就可升至高溫。其結(jié)果，涂布在印刷基板的光阻油墨內(nèi)的溶劑，在尚未排出大氣前，其表面硬化的關(guān)系，光阻油墨內(nèi)的溶劑未經(jīng)排出而殘存于油墨中。如以劑殘存于光阻油墨之下，在后續(xù)工藝進(jìn)行微影(lighography)工藝時，微細(xì)的配線圖案(pattern)會發(fā)生斷線的情形。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是提供一種遠(yuǎn)紅外線干燥裝置、干燥裝置構(gòu)成體及干燥方法，據(jù)由以遠(yuǎn)紅外線放射至涂布在印刷基板的光阻油墨的狀態(tài)下，迅速使光阻油墨中的溶劑從表面向大氣排出，以致可防止在印刷基板的后續(xù)工藝所進(jìn)行微影(lithography)工藝產(chǎn)生微細(xì)圖案(pattern)的斷線。

本發(fā)明提供的第1種遠(yuǎn)紅外線干燥裝置，包括：遠(yuǎn)紅外線放射體、放射時間可變裝置、距離可變裝置、溫度調(diào)節(jié)裝置、和加壓媒體噴出裝置。遠(yuǎn)紅外線放射體從具有金屬表面的遠(yuǎn)紅外線放射層放射出相當(dāng)于涂布在被干燥物體基板的材料具有的最大吸光度的波長約3～約6μ的遠(yuǎn)紅外線，放射時間可變裝置使遠(yuǎn)紅外線在所定時間放射，距離可變裝置使上述遠(yuǎn)紅外線放射體和被干燥物體基板的距離成為可變，溫度調(diào)節(jié)裝置系調(diào)節(jié)干燥處理室內(nèi)溫度，加壓媒體噴出裝置向該基板噴出加壓媒體，以使上述被干燥物體溫度在約180℃以下。

本發(fā)明提供的第2種遠(yuǎn)紅外線干燥裝置，包括：遠(yuǎn)紅外線放射體、放射時間可變裝置、距離可變裝置、溫度調(diào)節(jié)裝置、加壓媒體噴出裝置、和搬送裝置、遠(yuǎn)紅外線放射體從具有金屬表面的遠(yuǎn)紅外線放射層放射出相當(dāng)于涂布在被干燥物體基板的材料具有的最大吸光度的波長約3～約6μ的遠(yuǎn)紅外線，放射時間可變裝置控制在所定時間放射遠(yuǎn)紅外線，距離可變裝置使上述遠(yuǎn)紅外線和被干燥物體基板的距離成為可變，溫度調(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié)干燥處理室內(nèi)溫度，加壓媒體噴出裝置向該基板噴出加壓媒體，以使上述被干燥物體溫度在約180℃以下，搬送裝置夾持上述被干燥物體基板的兩端，以便搬送該基板。

本發(fā)明提供的第3種遠(yuǎn)紅外線干燥裝置，包括：遠(yuǎn)紅外線放射體、加壓媒體噴出裝置、溫風(fēng)循環(huán)路、排氣路、搬送裝置、和該搬送裝置具備的網(wǎng)帶(mesh?belt)與媒體吸入用箱體。遠(yuǎn)紅外線放射體從具有金屬表面的遠(yuǎn)紅外線放射層放射出相當(dāng)于涂布在被干燥物體基板的材料具有的最大吸光度的波長約3～約6μ的遠(yuǎn)紅外線，加壓媒體噴出裝置向該基板噴出加壓媒體，以使上述被干燥物體溫度在約180℃以下，溫風(fēng)循環(huán)路使干燥處理室內(nèi)的溫風(fēng)再度循環(huán)至處理室，排出路使干燥處理室內(nèi)的溫風(fēng)向大氣排出，搬送裝置搬送上述被干燥物體基板，網(wǎng)帶(mesh?belt)載置在該搬送裝置，能吸入遠(yuǎn)紅外線向被干燥物放射時所排出的溶劑等，媒體吸入用箱體，在上面具有多數(shù)的細(xì)孔，上述箱體具備配置在干燥處理室外的大氣吸入用箱體和，配置在干燥處理室內(nèi)的溫風(fēng)吸入用箱體。

本發(fā)明提供的第4種遠(yuǎn)紅外線干燥裝置，其特征是在前述第1、第2或第3種所述的遠(yuǎn)紅外線干燥裝置的上述加壓媒體噴出裝置具有多個的細(xì)縫(slit)孔噴嘴(nozzle)。

本發(fā)明提供的第5種遠(yuǎn)紅外線干燥裝置，其特征是在前述第4種遠(yuǎn)紅外線干燥裝置的上述加壓媒體噴出裝置，是從多個的細(xì)縫(slit)孔噴嘴噴出與上述被干燥物體基板的表面溫度大略相等的溫風(fēng)。

本發(fā)明提供的第1種干燥裝置構(gòu)成體，包括：遠(yuǎn)紅外線干燥裝置與紫外線照射裝置。遠(yuǎn)紅外線干燥裝置，包括：遠(yuǎn)紅外線放射體，放射時間可變裝置、距離可變裝置、溫度調(diào)節(jié)裝置，和加壓媒體噴出裝置。遠(yuǎn)紅外線放射體從具有金屬表面的遠(yuǎn)紅外線放射層放射出相當(dāng)于涂布在被干燥物體基板的材料具有的最大吸光度的波長約3～約6μ的遠(yuǎn)紅外線，放射時間可變裝置使遠(yuǎn)紅外線在所定時間放射，距離可變裝置使上述遠(yuǎn)紅外線放射體和被干燥物體基板的距離成為可變，溫度調(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié)干燥處理室內(nèi)溫度，加壓媒體噴出裝置向該基板噴出加壓媒體，以使上述被干燥物體溫度在約180℃以下。紫外線照射裝置在上述遠(yuǎn)紅外線放射上述被干燥物體基板后，以紫外線照射涂布在該被干燥物體基板的材料。