[發明專利]液晶玻璃基板的化學拋光方法及化學拋光裝置

無效

• 申請號: 02105963.2
• 申請日: 2002-04-11
• 公開（公告）號: CN1380572A
• 公開（公告）日: 2002-11-20
• 發明（設計）人: 西山智弘;出口干郎;絲川勝博;小谷誠;溝口幸一
• 申請（專利權）人: 西山不銹化學股份有限公司
• 主分類號: G02F1/1333
• 分類號: G02F1/1333
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所
• 代理人: 王杰

1.液晶玻璃基板的化學拋光方法，其特征是，將液晶玻璃基板浸漬在化學拋光液中，使液晶玻璃基板的外表面以0.5～10μm/分鐘的速度進行拋光，所述化學拋光液含有氫氟酸和氟化物的混合液、含有鹽酸、硫酸、磷酸和硝酸的一種或多種的無機酸、含有醋酸和琥珀酸的一種或者多種的有機酸、含有磺酸鹽類表面活性劑的陰離子表面活性劑以及胺類兩性表面活性劑，其中所述的氟化物包括氟化銨、氟化鉀和氟化鈉中的一種或多種。

2.權利要求1的液晶玻璃基板的化學拋光方法，其中，從儲存上述化學拋光液的化學拋光液儲槽底部產生氣泡，從而產生上升液流。

3.權利要求2的液晶玻璃基板的化學拋光方法，其中，使上述上升液流從上述化學拋光液儲槽的周緣部溢出。

4.權利要求3的液晶玻璃基板的化學拋光方法，其中，使上述從周緣部溢出的化學拋光液再次供給上述化學拋光液儲槽。

5.權利要求4的液晶玻璃基板的化學拋光方法，其中，使上述從周緣部溢出的化學拋光液流經過濾器，除去拋光過程中產生的反應生成物后，供給上述化學拋光液儲槽。

6.化學拋光裝置，包括儲存化學拋光液的化學拋光液儲槽及下述裝置：

導入氣體并將氣體從氣泡吐出部分吐出的氣泡發生裝置，所述氣泡吐出部分由多孔材料制成；

設置于上述化學拋光液儲槽周緣部的溢出液接受槽，該槽用于接受從所述儲槽溢出的化學拋光液；????

用于除去拋光產生的反應生產物的過濾器；?

將上述過濾器過濾后的化學拋光液再次輸送到化學拋光液儲槽的泵；

配置在上述氣泡發生裝置下側的化學拋光液噴出裝置，該裝置具有多個孔，用于將用上述泵輸出的化學拋光液向化學拋光液儲槽的底部噴出。

7.權利要求6的化學拋光裝置，其中，具有放置液晶玻璃基板的器具，該器具用于放置一塊或者多塊液晶玻璃基板，所述液晶玻璃基板可以是單片的，也可以是一對液晶玻璃基板進行貼合后的。

8.權利要求6或權利要求7的化學拋光裝置，其中，配備有超聲波振動器或者搖動攪拌器。