[發明專利]工業薄膜加工動力輸送系統的故障預測方法

無效

• 申請號: 02105292.1
• 申請日: 2002-02-26
• 公開（公告）號: CN1380235A
• 公開（公告）日: 2002-11-20
• 發明（設計）人: 凱文·P·納斯曼;艾倫·T·拉多姆斯基
• 申請（專利權）人: ENI技術公司
• 主分類號: B65G43/00
• 分類號: B65G43/00
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所
• 代理人: 王永剛

技術領域

本發明涉及動力輸送系統的故障預測，更詳細地涉及監測動力源的參數并分析這些參數以便發出警告指示。

背景技術

材料加工應用，例如通過應用等離子體的等離子體沉積與濺射為眾所周知。這些加工需要動力輸送系統。此動力輸送系統通常提供一個接至等離子體室的射頻(RF)或高壓直流(DC)動力信號。在這種應用中，在材料加工期間動力源的不協調或故障會引起加工中材料的全部損失。這種損失會是昂貴的因而極不希望有的。

目前尚無一個半導體加工應用的動力輸送系統監測動力輸送系統的工作參數以便預測維護要求與防止動力輸送系統故障。預測維護與故障的運行中(on-the-fly)監測系統的缺乏使得必需只通過動力輸送系統的預定維護以防止這種中間過程期間的動力輸送系統的不協調或故障。因此，不可能及時進行必需的維護，從而導致動力輸送系統的不協調工作或故障。

目前的動力輸送系統也不為制造商、銷售商或工廠或用戶提供任何方法以監測動力輸送系統的工作或在遠離動力輸送系統的位置建立一個動力輸送系統信息的歷史數據庫。遠程監測與建立一個動力輸送系統信息的歷史數據庫對于計劃遠程動力輸送系統的要求的維護提供有價值的數據。遠程監測與建立一個數據庫還可以使能進行適用于相似地安裝的動力輸送系統的數據分析并幫助設計未來的動力輸送系統。

由于目前的動力輸送系統沒有一個能進行遠程的監測、分析與數據收集，因而動力輸送系統需要技術人員出差到安裝地點進行現場服務。或者，常由用戶把發生故障的動力輸送系統送回制造廠修理。由經培訓的技術人員進行現場服務對用戶來說會是昂貴的。另一方面，由于動力輸送系統的工作與環境有很大關系，因而把動力輸送系統拆卸并送回修理常導致此動力輸送系統通過在服務中心進行的全部試驗。此外，通常沒有現場運行數據伴隨著被送回的動力輸送系統。

使用主控制器監測動力輸送系統性能由于主控制器的速度限制證明是不合適的。因此，用于分析的關鍵信息必須直接從與主控制器無關的動力輸送系統取得。目前的動力輸送系統也不允許遠程配置一個動力輸送系統供診斷試驗用。這要求或者技術人員出差至現場或者通過配置供診斷試驗用的裝置使服務中心進入制造廠。由于這樣的配置處理既困難又消耗時間，用戶在配置期間可能犯錯誤，因而只進行價值受限制的試驗。因為這些困難常使合格的技術人員出差至動力輸送系統現場成為必要，對有問題的系統進行服務所需時間需要材料加工系統的附加停機時間。

由于許多材料加工應用被材料加工者看作為高度秘密，因而材料加工者不愿意向遠方地點甚至制造廠發送信息，以便保護關鍵的加工信息。另一方面，如果服務技術人員必須出差至動力共應系統現場以便建立并監督合適的數據記錄/分析系統，這將增加費用并進一步減慢修理過程。

因此，提供一個用于監測動力輸送系統的系統與一個用于遠程監測動力輸送系統的系統是合乎需要的。

發明內容

本發明針對一種監測動力輸送系統的方法。此方法包括提供一個產生輸出功率的功率發生器、一個監測由功率發生器產生的輸出功率的傳感器、與一個接收來自傳感器的輸入并提供控制信息以改變功率發生器工作的控制器等步驟。此方法還包括監測許多與動力輸送系統有關的參數的步驟。把一組規則應用于這些參數以確定動力輸送系統的工作狀態。

本發明還針對一種遠程監測動力輸送系統的方法。此方法包括提供一個產生輸出功率的功率發生器、一個監測由功率發生器產生的輸出功率的傳感器、與一個接收來自傳感器的輸入并提供控制信號以改變功率發生器工作的控制器等步驟。許多參數和的至少一個被傳送至一個遠方地點。許多與動力輸送系統有關并被傳送至此遠方地點的參數被監測。一個在此遠方地點的數據庫貯存許多傳送至此遠方地點的參數。

從后面提供的詳細描述，本發明適用的另外領域將變為顯而易見。應懂得說明本發明優選實施例的詳細描述與專門例子只打算用于說明的用途而不打算用來限制本發明的范圍。

附圖說明

從以下詳細描述與附圖，本發明將被更充分地了解，這些附圖中：

圖1是一個根據本發明的原理布置的動力輸送系統的框圖；

圖2是一個根據本發明的原理布置的動力輸送系統監測器的框圖；

圖3是一個動力輸送系統監測器的工作流程圖；

圖4是一個根據本發明原理布置的動力輸送系統與遠程監測系統的框圖；

圖5是一個用于多個動力輸送系統的遠程動力輸送系統監測系統的框圖；

圖6是一個用于監測在多處本地的多個動力輸送系統工作的遠程監測系統的框圖；與