[發明專利]一種用于銅制程的化學機械研磨液組合物無效
| 申請號： | 02105024.4 | 申請日： | 2002-02-10 |
| 公開（公告）號： | CN1438290A | 公開（公告）日： | 2003-08-27 |
| 發明（設計）人： | 陳麗梅;閔俊國;王朝仁;蔡慶龍 | 申請（專利權）人： | 財團法人工業技術研究院 |
| 主分類號： | C09K3/14 | 分類號： | C09K3/14 |
| 代理公司： | 隆天國際知識產權代理有限公司 | 代理人： | 楊淑媛,黃韌敏 |
| 地址： | 暫無信息 | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 銅制 化學 機械 研磨 組合 | ||
【說明書】：
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