[發(fā)明專利]一種光柵的制造裝置及光柵的制造方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 02104455.4
• 申請日: 2002-03-19
• 公開（公告）號: CN1371001A
• 公開（公告）日: 2002-09-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李恩邦;李恩林
• 申請（專利權(quán)）人: 李恩林
• 主分類號: G02B6/124
• 分類號: G02B6/124;G02B5/18
• 代理公司: 天津市北洋有限責(zé)任專利代理事務(wù)所
• 代理人: 李素蘭

1.一種光柵的制造裝置包括：激光光源、反射鏡、半透半反鏡、透鏡，其特征是，還包括光學(xué)頻移器，激光光源產(chǎn)生的激光束被半透半反鏡分為兩束光強(qiáng)相等或接近相等的激光束，所述的兩束光強(qiáng)相等或接近相等的激光束可由附加的裝置進(jìn)行改變相互間距的平行移動，然后，分別經(jīng)過光學(xué)頻移器、透鏡匯聚產(chǎn)生干涉條紋，此外還包括速度傳感器和使被刻畫感光介質(zhì)以速度：V＝d(f_s2-f_s1)，朝向所述的兩束激光變頻后頻移量小的激光束的方向進(jìn)行移動的裝置，其中：

V：表示速度；d：表示干涉條紋間距；f_s1和f_s2；為光學(xué)頻移器的頻率；

速度傳感器將測得的所述移動速度和方向反饋給光學(xué)頻移器，光學(xué)頻移器改變頻率使所述的干涉條紋與感光介質(zhì)的移動速度、方向相等；

2.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種光柵的制造裝置，其特征是，所述的激光光源產(chǎn)生的激光束為連續(xù)紫外激光或連續(xù)可見激光；

3.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種光柵的制造裝置，其特征是，所述的光學(xué)頻移器為光學(xué)頻率調(diào)制器或聲光頻率調(diào)制器；

4.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種光柵的制造裝置，其特征是，所述聲光頻率調(diào)制器的聲光晶體，對可見光波段，典型材料為鉬酸鉛晶體；對紫外光波段可采用熔英；

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種光柵的制造裝置，其特征是，所述的頻率調(diào)制器由驅(qū)動源驅(qū)動，驅(qū)動源產(chǎn)生的驅(qū)動信號間可引入相移；

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種光柵的制造裝置，其特征是，所述傳感器可以是激光干涉儀或激光多普勒測速儀；

7.一種光柵的制造方法，其特征是，包括下列步驟：

將光強(qiáng)相等或接近相等的兩束激光分別進(jìn)行頻率移動，并使兩束激光具有一定的頻率差，因而兩束激光匯聚產(chǎn)生的干涉條紋以一定的速度和方向移動；

將所述的干涉條紋匯聚在感光介質(zhì)，使其對感光介質(zhì)的表面或內(nèi)部進(jìn)行刻畫；

在刻畫的同時，使感光介質(zhì)和所述的干涉條紋移動的速度和方向相同；

然后，可分別采用下列步驟：

改變所述干涉條紋的間距，以制作不同波長窄帶光柵；

在光柵寫入過程中連續(xù)改變所述兩激光光束間距，以制作寬帶光柵；

改變所述干涉條紋的強(qiáng)度和對比度，以實現(xiàn)不同形狀的切趾函數(shù)；

使干涉條紋產(chǎn)生相位移動，以制作具有相移的衍射光柵和布拉格光柵，

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光柵的制造方法，所述的激光可選用連續(xù)紫外激光或連續(xù)可見激光。